废气处理系统包括：一个采用干性系统或湿性系统并通过废气排出管路与一个半导体器件制造系统相连的废气处理设备，和一个通过吸气管路与废气处理设备相连的吸气设备，该设备将废气从半导体器件制造系统吸入废气处理设备；其改进包括一个设置在形成废气排出线的前、后排气管之间的微粒分离装置，该装置能够从废气中分离和去除包含在废气中的微粒，所述的微粒分离装置包括：一个确定气腔的气体容器，该容器被用来容纳包含微粒且通过前排气管的后端部分排出的废气；及一个设置在气腔中的废气引导件，该件具有确定一个内部空间且设置有开口的引导壁，通过这些开口，内部空间与气腔相互连通，形成废气引导件的引导壁是为了引导当吸气设备在运行时通过前排气管的后端排入气腔的废气，从而使废气在气腔中在垂直、回转流中流动。
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