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  • MKS GE50A流量计GE50A质量流量控制器

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    GE50A质量流量控制器

    GE50A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器,可在多种应用场合测量和控制气体的流量,特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器,它还可以作为压力控制器使用。

    对于当今市场上的质量流量控制器,GE50A可作为直接替代的产品,标准的3英寸底座使GE50A能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式,其精度为全量程的1%。

    技术参数:

    全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。

    控制量程:2% to 100%的全量程。

    测量精度:全量程的1%

    灵敏度:全量程的0.1%

    热机时间:小于2Min.

    响应速度:小于2Sec.

    输入电压:±15VDC@100ma

    输出电压:0-5VDC

    连接器:模拟:9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

    数字:RS485或Device net或Profibus

    法兰接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4”等

    材质:316不锈钢。

    质保期:有限保修自售出之日起12个月。



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