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  • 厦门涡轮分子泵的维修保养找厦门志德-十年专业维修真空泵

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    厦门涡轮分子泵的维修保养找厦门志德-十年专业维修分子真空泵 分子泵的保养与维修 分子泵在光盘行业的电镀机上得到广泛的应用,特别是在BPS、Unaxis的电镀机系统中。众所周知,分子泵的价值不菲。维修的费用相当的高,所以分子泵的保养显得十分重要。下面志德公司提供一些关于分子泵的保养维修的基本资料,希望对大家有所帮助。一、分子系的内部结构 1.高真空接口 2.前级真空接口 3.冷却水连接 4.排气接口 5.电气连接 6.橡胶底座10.转子 10 a.转子中心毂 14.安装螺帽 16.USIT接头 58.螺丝 59螺帽 60.球型轴承 61.半径方向防震垫圈63.轴向防震垫圈 64.电视单元65.0-圈72.0-圈 73.0- 圈80.锁紧著81.0-圈82.润滑油包83.0-圈84.油包安装环 二、分子泵的清洗: 一般来讲,如果说前级泵没有问题,而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气(排除其它的漏气)、或着解吸附作用降低,说明真空泵有点脏了,需要进行清洗,这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗,如果太脏的话,就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下: 1.关掉分子泵,进行排气。 2.从机器上拆下分子泵,注意不要碰到接口的边缘部分。 3.拆掉冷却器、加热器(如果有的话)等 4.拆掉润滑的油包 5.将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。 6.往容器中用人无水酒精,高度以前级真空接口略低为宜。 7.上下活动分子泵几次,便于分子泵的定子和转子的叶片清洗,在无水酒精中浸泡大概5~10分钟。 8.换掉无水酒精,加入新的无水酒精,重复前面的工作,最少要重复一次。 9.拿出分子泵。 10.将高真空接口朝上,从垂直慢慢放倒到180度,以便排除磁性轴承中的酒精。 11.用一个网格放在高真空接口上,然后朝下放置,利用一个泵抽大概30分钟左右。注意接口的密封表面不要损坏。 12.接上前级真空泵,不要开分子泵,利用前级泵抽真空,达到大概10E-1左右,以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。 13.更换真空泵中的真空油,接上分子泵开始工作。注意第一次抽真空时是比较慢,这是因为分子泵中有残留的酒精,属于正常情况,不必忧虑。三、驱动马达的检查 驱动马达的检查可以用两种方法,一个是带带驱动单元TCP时用示波器看波形。一个是不带驱动器检查线路。 带驱动单元TCP的方法操作,这里要注意一点,就是探针式的霍尔传感器是没有0电位的,所以在用示波器的时候将0V线拔掉。切记不要同时查看B1-B4、B2-B3的波形。下面是在全速旋转时检测到B1-B4或B2-B3波形。在不带驱动单元的检测方法,这个办法主要是检测、测室外部的接线和内部的适配器。 四、更换轴承 在分子泵中最容易损坏的就是轴承了,所以更换轴承是一个主要的工作。欢迎来电咨询:0592-6515234/13906026158
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